是一种射线式分析仪器,是X射线分析仪器的一种常用形式。X射线荧光光谱仪能分析原子序数 12～92的所有元素，选择性高，分析微量组分时受基体的影响小，在地质、采矿和冶金等部门应用很广。
根据量子理论，X射线可以看成由一种量子或光子组成的粒子流，每个光具有的能量。因此,只要测出荧光X射线的波长或者能量,就可以知道元素的种类，这就是荧光X射线定性分析的基础。此外,荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系，据此，可以进行元素定量分析。
X荧光光谱仪的优点：
1、制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析
2、分析精密度高。目前含量测定已经达到ppm级别
3、X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析
4、非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
5、X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。
6、分析速度快。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，10～300秒就可以测完样品中的全部待测元素。
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