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X'Pert PRO MRD/XL高分辩衍射仪介绍

发布时间:2018-04-24   点击次数:1731次

特征X射线及其衍射X射线是一种波长(0.06-20nm)很短的电磁波,能穿透一定厚度的物质,并能使荧光物质发光、照相机乳胶感光、气体电离。用高能电子束轰击金属靶产生X射线,它具有靶中元素相对应的特定波长,称为特征X射线。如铜靶对应的X射线波长为0.154056 nm。

X'Pert PRO MRD/XL高分辩衍射仪是半导体材料的标准装备,用于: 材料科学和纳米技术,半导体材料研究和生产质量控制,可以适用各种应用,尤其适合薄膜分析,例如: 摇摆曲线分析和倒易空间Mapping, 反射率和薄膜相分析,残余应力和织构分析, X'Pert PRO MRD/ XL 满足半导体、LED、薄膜和工业材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以满足直径达 300 mm的晶片分析,并有精密的自动晶片装载选择;XL成为薄膜生产发展的先进的分析手段,LED的业界标准。

X'Pert PRO MRD/XL高分辩衍射仪技术参数:

1,功率:3kW
2,测角仪重现性:0.0001度
3,测角仪类型:T-2T
4,五维样品台

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