X衍射仪,即X射线衍射仪(XRD),是一种利用X射线衍射原理测定物质结构的精密分析仪器,广泛应用于材料科学、化学、生物学等多个领域。其通过将X射线束照射到样品上,X射线与样品中的原子相互作用,产生衍射现象。由于晶体中原子规则排列,原子间距与X射线波长相当,不同原子散射的X射线相互干涉,在特定方向上产生强衍射。衍射波叠加使射线强度在某些方向加强,其他方向减弱,形成衍射图谱。通过分析衍射峰的位置、强度和形状,可推断样品的晶体结构、相组成、晶体取向等信息。
1、X射线发生系统
X射线管
结构:真空二极管结构,阴极(钨丝)发射电子,阳极(靶材)受电子轰击产生X射线。
靶材选择:常见靶材包括Cu、Mo、Co等,不同靶材对应不同特征波长(如Cu靶的Kα波长为1.54184Å)。
冷却系统:阳极靶需循环水冷却,防止高温损坏。
高压电源
功能:提供高电压(通常20~60kV)加速电子,并稳定管电流(10~100mA)。
稳定性要求:电源波动需小于0.01%,以确保X射线强度和波长的稳定性。
2、测角仪系统
测角仪是XRD的核心部件,负责精确测量衍射角(2θ):
结构组成
样品台:可旋转或固定,支持粉末、块状或薄膜样品的精准定位。
狭缝系统:包括发散狭缝、防散射狭缝和接收狭缝,控制X射线束的宽度和平行性,减少杂散光干扰。
角度驱动机构:步进电机或精密机械结构,实现2θ角的高精度扫描(精度达0.001°~0.01°)。
光学对中技术:采用激光或荧光屏校准,确保X射线源、样品台和探测器处于同一衍射平面,避免角度误差。
3、探测与数据采集系统
探测器
类型:
气体计数器:通过X射线电离气体产生电信号,适用于低强度辐射。
闪烁计数器:利用闪烁晶体(如NaI)将X射线转化为光信号,再由光电倍增管放大,响应速度快。
半导体探测器(如硅PIN二极管):高灵敏度、高分辨率,适合弱信号检测。
功能:将衍射X射线转换为电信号,并传输至数据处理系统。
单色器
作用:滤除Kβ等杂波,提高衍射峰的信噪比。常用石墨晶体单色器,可安装在入射光路或衍射光路中。
4、数据处理与控制系统
计算机控制系统
功能:设置实验参数(如扫描范围、步长、时间),自动采集衍射数据,并实时显示衍射图谱。
软件分析:通过专用软件(如Jade、MDI)进行寻峰、拟合、物相鉴定(PDF卡片库对比)及晶粒尺寸计算(谢乐公式)。
自动化与智能化
自动校准:部分机型配备自动对中和波长校准功能,减少人为误差。
多模式检测:支持连续扫描、步进扫描、定点测量等模式,适应不同样品需求。
5、结构设计特点
高稳定性
机械结构:采用一体化铸造框架或抗震设计,减少环境振动对角度测量的影响。
温度控制:部分高机型配备恒温系统,防止温度波动导致样品或光路变形。
模块化与扩展性
样品腔:可更换式设计,支持高温、低温、原位反应等特殊测试需求。
多靶材兼容:通过更换X射线管靶材,适应不同波长需求(如Cu靶测有机物,Mo靶测金属)。
安全防护
辐射屏蔽:铅罩或防护门防止X射线泄漏,保障操作安全。
紧急停止按钮:快速切断X射线源,避免意外暴露。
6、应用场景与结构适配
物相分析:通过衍射峰位置(2θ)和强度鉴定晶体种类,依赖高分辨率探测器和窄缝设计。
晶粒尺寸测定:利用衍射峰宽化效应(谢乐公式),要求探测器高灵敏度和小角度稳定性。
残余应力分析:基于晶面间距变化(d值),需搭配高精度测角仪和原位加载装置。
