X射线衍射仪是一种基于X射线与物质相互作用原理的高精度分析仪器,主要用于测定物质的晶体结构、物相组成及晶体学参数。其核心原理是布拉格方程(2dsinθ=nλ),当X射线照射到晶体上时,晶体中规则排列的原子会使X射线发生衍射,衍射波在特定方向上叠加增强,形成特征衍射峰。通过分析衍射峰的位置、强度及形状,可获取晶面间距、晶胞参数、原子排列方式等关键信息。
一、X射线源
X射线源是产生入射X射线的装置,是仪器的“光源”,直接影响衍射信号的强度和质量。
核心组件:
X射线管:z常用的是密封式X射线管(如铜靶、钼靶),通过灯丝发射电子,经高压加速后撞击金属靶材,产生特征X射线(如Cu靶的Kα射线,波长0.15418nm);高d仪器可能配备旋转阳极X射线管,通过靶材高速旋转增强散热,输出更强的X射线。
高压电源:为X射线管提供加速电压(通常20-60kV)和灯丝电流(10-50mA),控制电子能量和发射量。
冷却系统:通过水冷或油冷装置带走X射线管产生的热量,防止靶材因高温损坏。
二、测角仪
测角仪是XRD的“机械核心”,用于精确控制样品、X射线源和检测器的相对角度,满足布拉格衍射条件(2d sinθ=nλ)。
核心功能:通过精密机械结构实现角度调节,分为两种类型:
θ-2θ型(z常用):样品随θ角转动,检测器随2θ角转动,确保衍射信号始终被检测。
θ-θ型:样品固定,X射线源和检测器以2:1比例转动。
关键部件:
样品台:放置样品(粉末、薄膜、块状等),需保证样品平面与旋转轴严格对齐。
角度编码器:精确测量转动角度(精度可达0.0001°),确保角度控制的准确性。
驱动系统:由步进电机驱动,实现连续或步进式角度扫描(如1°/min到10°/min的扫描速度)。
三、光路系统
光路系统用于“整理”X射线,减少杂散辐射,提高衍射信号的纯度和强度,分为入射光路和衍射光路。
入射光路组件:
准直器(如索拉狭缝、发散狭缝):限制X射线束的发散角,使入射光为平行或聚焦光束。
单色器(如石墨单色器):过滤靶材产生的非特征X射线(如Kβ射线),仅保留单色特征X射线(如Kα1),降低背景干扰。
衍射光路组件:
接收狭缝:限制进入检测器的衍射光范围,提高空间分辨率。
防散射狭缝:阻挡非衍射方向的杂散辐射,减少背景噪声。
四、检测器
检测器是“信号接收器”,将衍射X射线转换为可测量的电信号。
常见类型:
闪烁计数器:传统检测器,通过X射线激发闪烁体产生荧光,再由光电倍增管转换为电信号,适合常规测量。
硅漂移检测器(SDD):半导体检测器,响应速度快、能量分辨率高,可区分不同波长的X射线,适合快速扫描或多元素样品。
CCD面探测器:可同时采集大范围衍射信号,适合实时成像或薄膜织构分析。
五、控制系统与数据处理系统
控制系统:由计算机和专用软件组成,通过程序控制X射线源参数(电压、电流)、测角仪转动、检测器工作状态等,实现自动化扫描(如连续扫描、步进扫描)。
数据处理系统:将检测器输出的电信号转化为衍射图谱(纵坐标为强度,横坐标为2θ角),并提供物相检索、晶格参数计算、晶粒尺寸分析等功能(常用软件如Jade、MDI)。
六、辅助系统
冷却系统:除X射线管外,部分检测器(如CCD)也需冷却以降低噪声。
真空/惰性气体系统:用于测量易氧化样品或减少空气对长波长X射线的吸收(如测量轻元素时)。
自动进样器:高通量仪器配备,可实现多个样品的连续测量。
