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如何评价x射线光电子能谱分析仪器的优缺点

发布时间:2017-12-25   点击次数:3331次
   x射线光电子能谱分析仪器经常又被称为化学分析用电子谱,是一种zui主要的表面分析工具。XPS作为当代谱学领域中zui活跃的分支之一,它除了可以根据测得的电子结合能确定样品的化学成份外,XPSzui重要的应用在于确定元素的化合状态。XPS可以分析导体、半导体甚至绝缘体表面的价态,这也是XPS的一大特色,是区别于其它表面分析方法的主要特点。此外,配合离子束剥离技术和变角XPS技术,还可以进行薄膜材料的深度分析和界面分析。
  如何评价x射线光电子能谱分析仪器的优劣呢?
  x射线光电子能谱分析仪器的优点:
  1.分析速度快;能谱仪可以同时接受和检测所有不同能量的X射线光子信号,故可在几分钟内分析和确定样品中含有的所有元素。
  2.灵敏度高;X射线收集立体角大。由于能谱仪中Si(Li)探头可以放在离发射源很近的地方,无需经过晶体衍射,信号强度几乎没有损失,所以灵敏度高。此外,能谱仪可在低入射电子束流条件下工作,这有利于提高分析的空间分辨率。
  3.谱线重复性好;由于能谱仪没有运动部件,稳定性好,且没有聚焦要求,所以谱线峰值位置的重复性好且不存在失焦问题,适合于比较粗糙表面的分析工作。
  x射线光电子能谱分析仪器的缺点:
  1.能量分辨率低,峰背比低。由于能谱仪的探头直接对着样品,所以由背散射电子或X射线所激发产生的荧光X射线信号也被同时检测到,从而使得Si(Li)检测器检测到的特征谱线在强度提高的同时,背底也相应提高,谱线的重叠现象严重。故仪器分辨不同能量特征X射线的能力变差。能谱仪的能量分辨率比波谱仪的能量分辨率低。
  2.工作条件要求严格。Si(Li)探头必须始终保持在液氦冷却的低温状态,即使是在不工作时也不能中断,否则晶体内Li的浓度分布状态就会因扩散而变化,导致探头功能下降甚至完全被破坏。

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