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高分辨衍射仪有哪些技术特点

发布时间:2020-06-23   点击次数:246次

高分辩衍射仪仪器简介:
X'Pert PRO MRD/XL是高级半导体材料的标准装备,用于: 高级材料科学和纳米技术,半导体材料研究和生产质量控制,可以适用各种应用,尤其适合薄膜分析,例如: 摇摆曲线分析和倒易空间Mapping, 反射率和薄膜相分析,残余应力和织构分析, X'Pert PRO MRD/ XL 高分辩衍射仪满足半导体、LED、薄膜和高级工业材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以满足直径达 300 mm的晶片分析,并有精密的自动晶片装载选择;XL成为薄膜生产发展的先进的分析手段,LED的业界标准。

X射线衍射仪技术分析其衍射图谱,获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。X射线衍射分析法是研究物质的物相和晶体结构的主要方法。当某物质(晶体或非晶体)进行衍射分析时,该物质被X射线照射产生不同程度的衍射现象,物质组成、晶型、分子内成键方式、分子的构型、构象等决定该物质产生特有的衍射图谱。X射线衍射方法具有不损伤样品、无污染、快捷、测量精度高、能得到有关晶体完整性的大量信息等优点。因此,X射线衍射分析法作为材料结构和成分分析的一种现代科学方法,已逐步在各学科研究和生产中广泛应用。  

高分辨衍射仪的主要特点:
●硬件系统和软件系统的结合,满足不同应用领域学者、科研者的需要;
●高精度的衍射角度测量系统,获取更准确的测量结果;
●高稳定性的X射线发生器控制系统,得到更稳定的重复测量精度;
●程序化探作、一体化结构设计,操作简便、仪器外型更美观。
  


 

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